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Hiden EQP 等離子體質量和能量分析儀是一臺結合質量和能量分析的儀器（Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics），用于分析等離子過程中陰、陽離子、中性粒子以及自由基。

IMP（Ions Milling Probe）離子蝕刻探針－終點檢測儀是自帶差式泵的耐用的二次離子質譜儀，*的專業檢測終點儀器。用于離子蝕刻控制以及優化工藝。適用于離子刻蝕過程中的二次離子和中性粒子分析。

沉積速率監測 分子束質譜儀采用三級濾過四極桿質譜儀，適于分子束和多源分子束研究和MBE監測。

ESPion高級朗繆爾探針（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、準確地進行等離子體診斷，是先進可靠的Langmuir探針。